产品简介

　　K100系列液体质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对液体的质量流量进行精密测量和控制。K100系列气体质量流量控制器/流量计(以下称MFC/MFM)通过测量层流元件的差压、压力、温度来计算流量，这种测量方式具有固有的线性,重复性好,高精度,无需预热,温漂小等特点。本产品可以同时测量4种参数：气体的瞬时流量、累计流量、温度和绝压，并且可以同时显示和输出。广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。

　　技术特点

　　1、采用差压式原理、液体的质量流量不受环境温度及压力的变化而变化。

　　2、管状分流原理，便于更改量程，安装简易。

　　3、良好的传感器封装，减少外部温度变化的敏感性。

　　4、测量和控制的量程范围大，2kg/min(H2O当量)

　　5、预热时间短、零飘小、测量和控制精度高，适用于微小流量的测量和控制。

　　6、可通过二次仪表或者PLC与仪表进行通讯，操作简单。

　　7、可直接与上位机连接，实现组网，便于操作。

　　技术参数

　　量 程：0...2kg/min (H2O当量)

　　准 确 度：±1.0%F.S

　　量 程 比：50:1

　　重复精度：±0.2%F.S

　　线性精度：±0.5%F.S

　　响应时间：800毫秒（可调整）

　　稳 定 性：±0.1%F.S

　　环境温度：5…55℃

　　温度系数：<±0.1%F.S/℃

　　泄 漏 率：<2×10 -8atm.ml/s(He)

　　启动预热时间：＜5秒

　　供 电：+15 …24vdc

　　模拟信号：0…5vdc或4…20mA

　　数字信号：RS232 RS485(Modbu s-RTU) 液晶显示

　　本体材质：SS316不锈钢

　　最大耐压：30bar

　　连接方式：卡套式连接（可选螺纹连接 面密封VC R或其他连接方式）

　　技术选型

　　序 列 号： K100

　　产品类型： 【C】质量流量控制器

　　耐压等级： 【L】低耐压 30bar

　　介质类型： 由厂家选择

　　流量范围： 【005g】5g/min 【010g】10g/min 【100g】100g/min

    　　              【500g】500g/min 【001k】1kg/min 【2kg 】2kg/min

　　被测介质： 由厂家选择

　　供电类型： 【S】24vdc 

　　模拟信号： 【 V 】0…5vdc 【A】4…20mA

　　数字信号： 【X】本地显示  【R】RS232  【M】RS485(Modbus-RTU)

　　密封材质： 【V】氟橡胶 【T】EPDM 【N】氯丁橡胶 【B】丁晴橡胶 【Y】其他

　　接头尺寸： 【A】φ3 【B】6 【C】8 【G】1/8” 【H】1/4” 【Y】其他